Учебный план №4167 (очн) фти. 342. 68. 2014 Код ооп направление/специальность



Скачать 52,98 Kb.
Дата12.09.2017
Размер52,98 Kb.
основы СОВРЕМЕННОЙ МИКРО - И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ
Учебный план № 4167 (очн)
ФТИ.342.68.2014


Код ООП

Направление/специальность

Профиль/программа магистратуры/специализация

Код дисциплины по учебному плану

210100.68-01-2012

Электроника и наноэлектроника

Материалы микро- и наноэлектроники

М2. 2.6

Рабочая программа составлена авторами:

п/п

ФИО

Ученая степень, ученое звание

Должность

Кафедра

Подпись

1

Вохминцев Александр Сергеевич

к.ф.-м.н.

доцент

Физических методов и приборов контроля качества




2

Бунтов Евгений Александрович

к.ф.-м.н.

доцент

Физических методов и приборов контроля качества




Рабочая программа дисциплины одобрена на заседании кафедр:

п/п

Наименование кафедры

Дата

ФИО заведующего кафедрой

Подпись

1

Физических методов и приборов контроля качества – читающая и выпускающая кафедра

Протокол № 1

от 13.09.2013 г.



Вайнштейн Илья Александрович




  1. УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКОЕ И ИНФОРМАЦИОННОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ

    1. Рекомендуемая литература

5.1.1. Основная литература


  • Барыбин А.А., Томилин В.И., Шаповалов В.И. Физико-технологические основы макро-, микро- и наноэлектроники. – М.: Физматлит, 2013. – 784 с.

  • Щука А.А. Наноэлектроника. – 2-е изд. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012. – 240 с.

  • Борисенко В.Е., Воробьева А.И., Данилюк А.Л., Уткина Е.А. Наноэлектроника. Теория и практика. – 2-е изд., перераб. и доп. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012. – 366 с.

  • Ткалич В.Л., Макеева А.В., Оборина Е.Е. Физические основы наноэлектроники: учебное пособие. – СПб: СПбГУ ИТМО, 2011. – 83 с.

  • Зебрев Г.И. Физические основы кремниевой наноэлектроники: учебное пособие для вузов. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011. – 240 с.

  • Старосельский В.И. Физика полупроводниковых приборов микроэлектроники: учебное пособие. – М.: Высшее образование; Юрайт-Издат, 2009. – 463 с.

  • Мартинес-Дуарт Дж.М., Мартин-Палма Р.Дж., Агулло-Руеда Ф. Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники. – 2-е изд., доп. – М.: Техносфера, 2009. – 368 с.

  • Игнатов А.Н., Фадеева Н.Е., Савиных В.Л., Вайспапир В.Я., Воробьева С.В. Классическая электроника и наноэлектроника: учеб. пособие. – М.: Флинта: Наука, 2009. – 728 с.

5.1.2. Дополнительная литература


  • Степаненко И.П. Основы микроэлектроники: Учеб. пособие для вузов. – 2-е изд., перераб. и доп. – М.: Лаборатория Базовых Знаний, 2001. – 488 с.

  • Щука А.А. Наноэлектроника. – М.: Физматкнига, 2007. – 464 с.

  • Марголин В.И., Жабрев В.А., Тупик В.А. Физические основы микроэлектроники: учебник для студ. высш. учеб. заведений. М.: Издательский центр «Академия», 2008. – 400 с.

  • Чистяков Ю.Д., Райнова Ю.П. Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие для вузов. Т. 1 Физико-химические основы технологии микроэлектроники. М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. – 392 с.

  • Акуленок М.В., Андреев В.М., Громов Д.Г. и др. Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие для вузов. Т. 2 Технологические аспекты. М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011. – 252 с.
      1. Методические разработки


Не используются
    1. Электронные образовательные ресурсы


Не используются
    1. Программное обеспечение


  • Resonant Tunneling Diode Simulation with NEGF (RTD NEGF) https://nanohub.org/tools/rtdnegf  исследование резонансного туннелирования в полупроводниковых гетероструктурах.

  • MOSFet https://nanohub.org/tools/mosfet  исследование вольт-амперных характеристик МДП-транзисторов.

  • MEMSLab https://nanohub.org/tools/cvgraph  исследование емкостных МЭМС-датчиков.

  • The Stopping and Range of Ions in Matter (SRIM) http://www.srim.org/#SRIM  исследование ионного легирования полупроводников.
    1. Базы данных, информационно-справочные и поисковые системы


Сайты компаний производителей электронных и микроэлектронных компонент: STMicroelectronics – http://www.st.com/web/en/home.html,

International Rectifier – http://www.irf.com/indexsw.html.



    1. Информационные сервисы, обеспечивающие учебный процесс

  • Информационная система «Единое окно доступа к образовательным ресурсам» раздел «Технология микро- и наноэлектроники» http://window.edu.ru/library?p_rubr=2.2.75.26.43.

  • Образовательные материалы и программы онлайн моделирования в области нанотехнологий https://nanohub.org/.

  • Нанотехнологическое сообщество «Нанометр» http://www.nanometer.ru/.

  • Международный проект развития полупроводниковых технологий http://www.itrs.net/.



  1. Перечень клюЧевых слов дисциплины


раздела

Наименование раздела

Ключевые слова

Р1

Предмет микро - и наноэлектроники

Микроэлектроника, законы Мура, ITRS.

Р2

Физические основы микро - и наноэлектроники

Полевой и биполярный транзисторы, низкоразмерные структуры.

Р3

Методы формирования микро- и наноэлектронных структур

Литографические методы, зондовая нанолитография, нанопечать, травление, легирование

Р4

Элементы и приборы микро - и наноэлектроники

Нанотранзисторные структуры, МОП-транзисторы, КНИ-транзисторы, одноэлектроника, спинтроника.







Поделитесь с Вашими друзьями:


База данных защищена авторским правом ©grazit.ru 2017
обратиться к администрации

    Главная страница